半导体制造工艺（2015年机械工业出版社出版的图书）
编辑：Simone
2025-06-05 23:11:06
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《半导体制造工艺》是2015年8月7日机械工业出版社出版的图书，作者是张渊。
主要介绍了半导体器件基本结构 、半导体器件工艺的发展历史、半导体材料基本性质及半导体制造中使用的化学品，以典型的CMOS管的制造实例为基础的集成电路的制造过程及制造过程中对环境的要求及污染的控制。
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