欧姆接触工艺
编辑：Simone
2025-05-01 04:34:59
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欧姆接触工艺是指形成欧姆接触的工艺技术。金属半导体欧姆接触的制作总体上可以分为两种方式：离子注入与外延。离子注入是从源材料中产生带正电荷的杂质离子，外延技术是在衬底上生长一层单晶层。
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