分辨率（光刻工艺中的分辨率）
编辑：Simone
2025-04-29 13:04:56
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掩模版上相邻两点在晶圆表面可以清晰成像的对应的最小距离或区别硅片表面上两个或更多的邻近特征图形的能力称为分辨率。
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