抗反射涂层（光刻中所用的抗反射涂层）
编辑：Simone
2025-04-17 05:40:41
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抗反射涂层(Anti-Reflection Coating, ARC)是旋涂于光刻胶与Si衬底界面处以吸收光刻反射光的物质 。
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